Вертикальная шлифовальная машина для полупроводников | Joen Lih: Прецизионные станки с ЧПУ для медицинской и полупроводниковой промышленности
Продолжая превосходные характеристики вертикального шлифования, Вертикальная полупроводниковая шлифовальная машина оснащена инновационным воздушно-подвесным шпинделем, который в первую очередь предназначен для прецизионного шлифования твердых и хрупких материалов, требующих высокой точности поверхности и плоскостности. Общая конструкция шлифовального станка основана на сварной конструкции с высокой жесткостью, что обеспечивает исключительную стабильность. В сочетании с особым бесконтактным дизайном прецизионного шпинделя это значительно снижает механические вибрации и шум. Оснащен современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения. Шероховатость поверхности вафли может достигать Ra 0,12 микрометра, что обеспечивает высокую точность и превосходную гладкость поверхности в результатах обработки.JOENLIH является производителем прецизионных линейных блоков для шлифовки, шлифовки пластин и прецизионных шлифовальных машин с 1988 года. С более чем 30-летним опытом в индустрии шлифовальных машин Тайваня, мы предоставляем индивидуальные решения для различных нужд, от малых до крупных операций. Наша преданность инновациям гарантирует высококачественные продукты и добавленную ценность, завоевывая доверие по всему миру. Откройте для себя ведущего производителя шлифовальных машин на Тайване, который обслуживает отрасль более 30 лет. Мы предлагаем индивидуальные решения от малых до крупных потребностей, придавая приоритет постоянным инновациям, высококачественным продуктам и настраиваемым услугам. Изучите наш ассортимент и ощутите разницу.
Вертикальная шлифовальная машина для полупроводников
JL-200SCG / JL-300SCGII
Продолжая превосходные характеристики вертикального шлифования, Вертикальная полупроводниковая шлифовальная машина оснащена инновационным воздушно-подвесным шпинделем, который в первую очередь предназначен для прецизионного шлифования твердых и хрупких материалов, требующих высокой точности поверхности и плоскостности.
Общая конструкция шлифовального станка основана на сварной конструкции с высокой жесткостью, что обеспечивает исключительную стабильность. В сочетании с особым бесконтактным дизайном прецизионного шпинделя это значительно снижает механические вибрации и шум.
Оснащен современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения. Шероховатость поверхности вафли может достигать Ra 0,12 микрометра, что обеспечивает высокую точность и превосходную гладкость поверхности в результатах обработки.
Особенности
- Воздушный плавающий стол: Спецификации рабочего стола делятся на 200SGC (8 дюймов) и 300SCGII (12 дюймов) с точностью вращения до 0,1 мкм. Оснащенный керамическими вакуумными зажимами, он предотвращает появление царапин и вмятин на поверхности, вызванных отрицательным давлением во время обработки заготовок.
- Высокоточный шпиндель: мотор встроен в сборку шпинделя. Точность работы шпинделя достигает 0,1 мкм. Переменная скорость шпинделя варьируется от 1000 до 5000 об/мин.
- Основная структура: сварная конструкция с высокой жесткостью, обеспечивающая исключительную стабильность для снижения вибраций в процессе обработки и эффективного повышения точности шлифования.
- Электрическая система управления: оснащена современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения.
Стандартные аксессуары
- Алмазный шлифовальный круг.
- Фланец.
- Керамический вакуумный всасывающий стол.
- Контроллер температуры шпинделя.
- Вакуумный насос.
- Ящик для инструментов с наборами инструментов.
Дополнительные аксессуары
- Точный сушильный аппарат.
- Измеритель высоты.
Приложение
- Хрупкие специальные композитные материалы: Эта машина предназначена для точной шлифовки различных рабочих материалов, таких как пластины, керамика, кварц, стекло и драгоценные камни и т.д.
Спецификация
| Модель | JL-200SCG | JL-300SCGII |
|---|---|---|
| Макс. шлифовальная способность | ||
| Диаметр рабочего стола | Ø200мм | Ø300мм |
| Шпиндель | ||
| От | Воздушный плавающий шпиндель | Воздушный плавающий шпиндель |
| Количество шпинделей (мм) | 1 | 1 |
| Мощность сервомотора | 3.7 кВт | 11 кВт |
| Скорость (об/мин) | 1000 ~ 5000 об/мин | 1000 ~ 3000 об/мин |
| инструмент | Ø250mm алмазный шлифовальный круг |
Ø350mm алмазный шлифовальный круг |
| Ось Z | ||
| Ход | 120 мм | 120 - 200 мм |
| Разрешение подачи | 0.1 мкм | 0.1 мкм |
| Макс. скорость быстрого перемещения | 300 мм/мин | 300 мм/мин |
| Стол | ||
| Ход | Воздушный плавающий шпиндель | Воздушный плавающий шпиндель |
| Количество столов | 1 | 1 |
| Макс. скорость | 0 ~ 500 об/мин | 0 ~ 500 об/мин |
| Толщинометр (по желанию) | ||
| Диапазон измерений | 0 ~ 1000 об/мин | - |
| Разрешение | 0.1 мкм | - |
| Повторяемость | ± 0,5 мкм | - |
| Вес | ||
| Вес машины | 2000кг | 3000кг |
| Размеры | ||
| Рабочее пространство машины | 600 (Ш) x 1700 (Г) x 2100 (В) мм | 1100 (Ш) x 1950 (Г) x 2100 (В) мм |
| Точность обработки | ||
| TTV | 1.5μm | 3μm |
| Допуск толщины | - | ± 3μm |
| Шероховатость поверхности | Ra 0.02μm | Ra 0.02μm (для ваферов) |
| Площадь пола | ||
| Д x Ш (включая периферийное оборудование) | 3000 (Д) x 2500 (Ш) мм | 2200 (Д) x 1700 (Ш) мм |
- Скачать
- Связанные продукты
Скачать 
Вертикальная шлифовальная машина для полупроводников | Joen Lih: Современные шлифовальные решения для аэрокосмической и автомобильной промышленности
Joen Lih Machinery Co., Ltd., основанная в 1988 году, является ведущим мировым производителем прецизионных шлифовальных машин, включая высокоточные Вертикальная шлифовальная машина для полупроводников, плоскошлифовальные станки, профильные шлифовальные станки и современное оборудование для полировки полупроводников.С более чем 20-летним опытом в отрасли мы предлагаем индивидуальные решения для таких секторов, как медицина, аэрокосмическая промышленность, полупроводники и автомобилестроение, обеспечивая непревзойденную стабильность и точность.
Посвященный инновациям, Joen Lih интегрирует автоматизацию и передовые технологии для предоставления высококачественного шлифовального оборудования. Мы стремимся расширять наше глобальное присутствие, повышать производственную эффективность и удовлетворенность клиентов на ключевых рынках Азии, Европы и Америки.
JOENLIH является ведущим поставщиком прецизионного шлифовального оборудования более 20 лет, постоянно используя передовые технологии для предоставления индивидуальных решений, которые соответствуют и превосходят конкретные требования каждого клиента.
Факты о компании в цифрах
0
Номер нового изобретателя полупроводников
0%
Удовлетворенность клиентов
0
Кумулятивные продажи машин