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| 型號 |
JL-D16 |
| 加工能力 |
|
| 研磨盤外徑 |
1127mm |
| 夾具(游星輪)直徑 |
370mm
DP12, Z200 |
| 夾具(游星輪)數量 |
5 SETS |
| 每次總加工數量 |
6"晶圓: 15片
8"晶圓: 5片
12"晶圓: 5片 |
| 最大加工厚度 |
40 mm |
| 最小加工厚度 |
0.4 mm |
| 自動厚度控制 |
可選配 |
| 控制方式 |
|
| 加壓方式 |
氣壓缸加壓 |
| 壓力控制方式 |
電控比例閥 |
| 人機介面 |
PLC + 人機介面 |
| 內齒輪轉盤 |
3HP |
| 下磨盤驅動力 |
15HP |
| 上磨盤驅動力 |
5HP |
| 盤面轉速 |
20-60 R.P.M. |
| 磨盤壓力 |
10-300 KG |
| 機器尺寸與重量 |
|
| 機器尺寸 |
W:2300 x D:1420 x H:2550 mm |
| 機器淨重 |
6200 kg |
| 機器毛重 |
6680 kg |
| 適用電源 |
3Ø 220V (3Ø 380V) |
