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| 型號 |
JL-200SCG |
300SCGII |
| 工作台直徑 |
ɸ200 |
ɸ300 |
| 機器配置 |
1支主軸 / 1個旋轉工作台 |
1支主軸 / 1個旋轉工作台 |
| 主軸 |
|
|
| 型式 |
氣靜壓主軸 |
氣靜壓主軸 |
| 主軸數量(mm) |
1 |
1 |
| 伺服馬達功率 |
3.7 kw |
15 |
| 刀具 |
ɸ250 (mm) 鑽石砂輪 |
ɸ350 (mm) 鑽石砂輪 |
| 轉速(rpm) |
Min1000 ~ Max 3000 rpm |
Min1000 ~ Max 3000 rpm |
| Z 軸 |
|
|
| 行程 |
100 mm |
200 |
| 進給解析度 |
0.1μm |
0.1μm |
| 最大快速移動速度 |
300 mm / min |
300 mm / min |
| 工作台 |
|
|
| 行程 |
氣靜壓工作台 |
氣靜壓工作台 |
| 工作台數 |
1 |
1 |
| 最大轉速 |
500 rpm |
500 rpm |
| 工作台面積(mm) |
φ200 mm |
φ300 mm |
| 最大承載重量 |
15 kg |
20 kg |
| 尺寸 |
|
|
| 機器重量(Kgs) |
2000 kg |
3000kgs |
| 機器作業空間 (長×寬x高) |
1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm |
1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm |
| 加工精度 |
|
|
TTV
表面粗度 |
1.5 μmRa
0.02μm（矽晶圓） |
1.5 μm/Ra
0.02μm（ 矽晶圓） |
